潔凈室的排氣系統(tǒng)是潔凈室中非常重要的系統(tǒng)。潔凈室的排氣系統(tǒng)有利于潔凈室的清潔處理和廢氣排放，能夠快速清理測試現(xiàn)場，保證潔凈室保持清潔干凈。

一、潔凈廠房排風(fēng)管道的制造應(yīng)符合以下要求：易燃、有毒排風(fēng)管道的襯墊材料和固定材料應(yīng)為不燃材料；風(fēng)管所用的螺栓、螺母、墊圈、鉚釘應(yīng)采用與管道性能相適應(yīng)且不產(chǎn)生電化學(xué)腐蝕的材料，或采用鍍鋅等防腐措施；鍍鋅鋼板不應(yīng)被鍍鋅層嚴(yán)重?fù)p壞，如表層大面積白花、涂層粉化等。風(fēng)管法蘭螺栓與鉚釘孔之間的距離不應(yīng)大于100；矩形風(fēng)管法蘭的四角應(yīng)設(shè)有螺孔。

二、當(dāng)排風(fēng)管道穿過防火防爆墻、天花板或地板時，應(yīng)設(shè)置保護(hù)套管，套管鋼板厚度不應(yīng)小于1.6。防護(hù)套管應(yīng)提前預(yù)埋并可靠固定；風(fēng)管與保護(hù)套之間，應(yīng)用不燃材料密封。排風(fēng)管道的安裝應(yīng)符合下列要求：輸送易燃易爆介質(zhì)的排風(fēng)管道或安裝在爆炸危險(xiǎn)環(huán)境中的風(fēng)管應(yīng)良好接地；當(dāng)排風(fēng)管道穿過潔凈室(區(qū))的墻壁、天花板和地面時，應(yīng)配備套管和密閉結(jié)構(gòu)；不允許其他管道穿過排氣管；室外排氣立管應(yīng)采用拉索固定，嚴(yán)禁與避雷針或避雷網(wǎng)連接。

三、排氣設(shè)備的搬運(yùn)和吊裝應(yīng)符合以下要求：排氣設(shè)備的搬運(yùn)和吊裝應(yīng)符合產(chǎn)品規(guī)范的相關(guān)要求，并做好相關(guān)防護(hù)工作，防止設(shè)備損壞或搬運(yùn)性能下降；大中型設(shè)備搬運(yùn)和吊裝前，應(yīng)根據(jù)外形尺寸、重量、產(chǎn)品規(guī)格、安全生產(chǎn)要求等，制定安全可行的搬運(yùn)和吊裝方案。并經(jīng)建設(shè)單位和項(xiàng)目監(jiān)理批準(zhǔn)后實(shí)施。